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화학 공식: | H3PO4 |
분자량: | 97.99 |
사양: | 농도 85%, 금속 100ppb 미만 |
특성: | 무색, 무취의 투명한 액체, 중강산 |
목적: | 주로 반도체 웨이퍼 에칭, 질화규소층 구조 제거 및 세척에 사용됩니다. |
포장 및 보관: | 20L, 200L, IBC 톤 배럴 및 탱크 트럭 포장 |