電子グレードのリン酸 (含有量: 85~87%)

化学式:

H3PO4

分子量:

98 (g/モル)

目的:

集積回路 (IC) およびその他のマイクロエレクトロニクス業界,チップ上の窒化ミスティーノ 無料スピン層のクリーニングに使用。